帶你走進真空知識世界（一）

中國臺灣日揚CF300 Gasket墊片，可耐溫度是多少？是否可以用于液態氮的制程環境呢？

CF300 gasket 材質為無氧銅，可耐溫度為-200℃~450℃。液態氮溫度約為-196℃，如果液氮管路直接與法蘭接觸，低溫會傳導至Gasket使其熱脹冷縮產生形變，有泄漏的風險。因此可以設計雙層管的裝置來避免這個問題，如下圖所示。

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 作者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術中心