工作原理

二、核心技術參數

三、產品核心優勢

1. 超長使用壽命：無電機、齒輪、彈簧等機械運動部件，幾乎無機械磨損，適配 7×24 小時連續量產制程

2. 超快動態響應：毫秒級開度調節，快速抑制真空壓力波動，鍍膜工藝膜厚均勻性更好

3. 高潔凈高密封：不銹鋼閥體 + 前置微米過濾器，可防止粉塵劃傷密封墊片造成內漏

4. 兼容性強：適配各類進口、國產真空壓力控制器，開環 / 閉環兩種控制模式

四、常用型號選型

1. PEV-1：標準款，1/4" Swagelok 卡套接口，

2. PEV-1-VCR：超高真空潔凈款，1/4" VCR 外螺紋接口

3. PEV-1-001：原廠 Viton 密封維修包（易損備件，墊片老化漏氣時更換）

五、典型應用場景

• 磁控濺射、ITO 導電膜、光學鍍膜、裝飾鍍膜設備

• PECVD、等離子清洗、刻蝕、太陽能電池真空工藝

• 質譜儀、離子束設備、科研高真空實驗平臺

• 真空腔體精密微量進氣、閉環恒壓控制系統

六、安裝使用 & 調試要點

1. 管路方向：閥體標注IN為進氣端、OUT接真空腔體，嚴禁反向安裝

2. 電壓區間：最佳線性工作區間 30~80VDC；20~30VDC 為開啟閾值，低壓段線性度較差

3. 前置過濾：進氣端必須加裝精密過濾器，顆粒雜質會直接劃傷氟橡膠密封面，造成yong  jiu內漏

4. 長期停機：設備停機時保持 0V 斷電，閥門常閉保護密封件，避免墊片長期受壓老化

5. 禁止超壓：驅動電壓絕對不能超過 100VDC，否則會直接擊穿壓電陶瓷，閥門yong jiu損壞

七、高頻故障與排查方案

1. 閥門wan quan打不開

• 排查：BNC 線纜斷路、控制器無 0~100V 輸出、電壓未達到 20V 開啟閾值；壓電陶瓷擊穿損壞

• 解決：檢測驅動電壓、更換同軸電纜；陶瓷損壞需返廠維修或更換閥體

2. 閥門關閉不嚴、真空腔持續漏氣（內漏）

• 原因：密封 Viton 墊片被粉塵劃傷、長期高溫老化

• 解決：更換原廠密封維修包，清潔閥座后重新裝配，氦檢復測漏率

3. 流量非線性、壓力控制波動大

• 原因：進氣壓力不穩定、工作電壓落在 20~30V 閾值區間、過濾器堵塞

• 解決：穩定氣源壓力，調整控制器輸出區間避開低壓閾值，清洗前置過濾器

4. 響應慢、穩壓超調

• 排查：控制器 PID 參數不匹配、閥體內部輕微雜質卡滯

• 解決：重新整定壓力控制器 PID 參數，拆解清洗閥體流道